潔凈車間高效過濾系統(tǒng)完整性測試的目的是保證并確認高效過濾系統(tǒng)安裝正確，要是驗證沒有旁路漏泄，過濾器本身沒有缺陷、沒有針孔滲漏。
測試方法是在高效過濾器上游一側(cè)引入氣溶膠，并立即掃描過濾器下風(fēng)向側(cè)和支撐框架，該程序是用來檢測過濾介質(zhì)和框架密封有無小針孔損壞，過濾器框架和密封墊有無旁路滲漏，及過濾器本身的框架有無泄漏；對于頂棚靜壓箱，可能還有必要掃描頂棚穿洞處及頂棚接縫；
檢漏方法有：光度計法、粒子計數(shù)器法。光度計法進行對數(shù)或線性質(zhì)量濃度探測，沒有離散量化分析，測試是在過濾器上游引入DOP、PAO或其他規(guī)定的氣溶膠，用光度計和合適的探頭掃描過濾器下風(fēng)向一側(cè)，驗證過濾系統(tǒng)的整體性。
向過濾器的上游側(cè)引入氣溶膠，方式要同時使暴露在氣溶膠中的每臺過濾器的上游濃度均勻，若同時有幾個或全部過濾器要暴露于氣溶膠中，建議在風(fēng)機入口引入氣溶膠，或在一個對全部過濾器均實現(xiàn)均勻濃度的位置引入氣溶膠；在受測過濾器上游立即測量氣溶膠濃度，需小心保證氣溶膠分布均勻；若使用拉斯金嘴氣溶膠生產(chǎn)器，送風(fēng)壓力至少設(shè)為138KPa；使用線性或?qū)?shù)光度計測量上游檢測氣溶膠濃度；將光度計設(shè)全刻度，并測量上游濃度，所得濃度值是將一個或多 個拉斯金噴嘴，調(diào)至氣溶膠達到10-20ug/L濃度時獲得的值；一旦獲得正確的氣溶膠濃度，再次調(diào)節(jié)光度計增益，使該濃度代表100%上游濃度；增加光度計的靈敏度，使上游濃度的0.01%可被容易的讀出。
過濾系統(tǒng)檢漏，離散式粒子計數(shù)器法，粒子過濾器法對粒子進行計徑和計數(shù)，進行該項檢漏時在過濾器上游引入人工氣溶膠，在過濾器的下風(fēng)向一側(cè)用粒子計數(shù)器掃描，驗證過濾系統(tǒng)的完整性；向過濾器的送風(fēng)向中引入氣溶膠，其方式要使同時暴露在氣溶膠中的每臺過濾器獲得均勻的氣溶膠濃度；在引入氣溶膠時測量上游粒子濃度，驗證上游氣溶膠濃度要大于3.53*107個/m3，該濃度將使掃描速度合理，更高的濃度將提高準確性，并可提高掃描速度；用計算出的掃描速度，掃描探頭以稍微重疊的形成掃過過濾器表面和過濾器組件的四周，使過濾系統(tǒng)的整個面積受到檢測，掃描時探頭距受測面積約25mm，對過濾器的整個外周，連同過濾介質(zhì)與框架的黏結(jié)處，以及過濾器與安裝架的密封處，都要另外進行掃描。
已安裝過濾器檢漏，總氣溶膠滲漏法，當(dāng)無法在下風(fēng)向接近過濾系統(tǒng)時，用該方法驗證過濾系統(tǒng)的完整性，當(dāng)采用光度計法或粒子計數(shù)器法時，顯菩滲漏的范圍可在0.005%~0.03%之間；進行本項測試是在安裝于風(fēng)管內(nèi)的、距潔凈室有一定距離的過濾器上游引入檢測氣溶膠，然后測量從風(fēng)管進入室內(nèi)的空氣與上游濃度比較，確定過濾系統(tǒng)的總滲漏率；在風(fēng)管內(nèi)距待測過濾器至少10倍于風(fēng)管直徑處定出位置，使用光度計，將其設(shè)置為測量0.03%濃度的量程，用探頭在風(fēng)管內(nèi)測量氣溶膠滲漏濃度，在最接近過濾器的平面獲得多點的讀數(shù)，以測定濃度是否達到均勻，少要獲得5個均勻分間隔的讀數(shù)，所有讀數(shù)均應(yīng)在平均值的±5%以內(nèi)，才能繼續(xù)；若有單個讀數(shù)比平均值偏差大于±5% ，須在另一個位置引入氣溶膠，使其滿足均勻度要求。
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