超凈無塵凈化車間目前已經(jīng)是工業(yè)半導(dǎo)體、精密配件制造、LED液晶平面生產(chǎn)、光學(xué)鏡片制造、精密電子線路板、SMT無塵車間、PCB凈化車間、光伏新能源電池生產(chǎn)、塑料化工生產(chǎn)、電鍍/噴涂車間不可缺失的重要硬件設(shè)施,近十幾年來,由于技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展越來越快,社會及工業(yè)對產(chǎn)品的精密度及微型化的需求越來越迫切,如大型積體電路小型化研究就其配件的微小化制造,已經(jīng)新能源的發(fā)展,新能源電池組生產(chǎn)的輕質(zhì)微小化,都以成為世界各國在科學(xué)技術(shù)上極為重視的科研項目,電子行業(yè)內(nèi)的需求也一直在要求微電子超凈無塵車間的設(shè)計理念及施工技術(shù)必須日新月異的發(fā)展。
一、光學(xué)微電子超凈無塵車間平面布局要求
1.凈化車間潔凈生產(chǎn)區(qū):潔凈等級設(shè)置為百級、千級或萬級2.無塵生產(chǎn)輔助用房:潔凈等級設(shè)置為萬級、十萬級,一般包括人流進出潔凈用房,物料進出清潔區(qū)和部分車間辦公生活區(qū)等。3.超凈凈化車間管理區(qū):潔凈等級設(shè)置為十萬級或三十萬級,一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區(qū)。4.車間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū):該區(qū)域?qū)諝鈨艋燃墰]有要求,但要求與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離,本區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)機房、電氣用房、純水間、生產(chǎn)用氣間。
二光學(xué)微電子超凈無塵車間裝修要求
1.車間吊頂材料:采用FFU盲板或選用防火彩鋼板,吊頂內(nèi)須可上對承重要進行詳細技術(shù)。2.車間墻體裝修材料:采用防火彩鋼板,彩鋼板厚度為50mm,可以盡量有效的適用場地的占地面積,該彩鋼板在安裝時需要進行接地處理,以到達排放靜電的功能。3. 車間地面裝修:一般選用環(huán)氧自流平或PVC卷材,但無塵車間內(nèi)須對上述兩種材料進行抗靜電處理。
三、超凈無塵凈化車間的空調(diào)設(shè)計方案
1.超凈無塵凈化車間凈化原理在解決了普通裝修易產(chǎn)塵的問題后,超凈室最重要的空間凈化措施為潔凈空調(diào)系統(tǒng),凈化空調(diào)機組通過風(fēng)機將室內(nèi)及室外的部分新風(fēng)先進行初效過濾后,再進行中效過濾,這兩級過濾在組合式凈化空調(diào)機組內(nèi)完成,然后用高靜壓風(fēng)機泵入管道,管道末端連接與室內(nèi)相同的特殊送風(fēng)箱,該送風(fēng)箱內(nèi)設(shè)置高效率過濾板,通過高效過濾器后的空氣進入房間,通過凈化車間空調(diào)系統(tǒng)工程師規(guī)劃的流動路線,帶走房間內(nèi)的微小塵埃,根據(jù)不同級別的凈化等級需要,上述過程需重復(fù)不同的次數(shù),這個問題在下一節(jié)將給出具體參數(shù)。2.超凈無塵凈化車間循環(huán)參數(shù)①無塵車間按級別闡述房間換氣次數(shù):十萬級凈化車間換氣次數(shù)每小時不能小于15次;萬級無塵車間換氣次數(shù)每小時不能小于20次;千級無塵室換氣次數(shù)每小時不能小于50次;百級超凈室和十級超凈棚不以換氣次數(shù)為標準,以全天花送風(fēng)的方式送風(fēng),全地面回風(fēng)的方式回風(fēng),即增大送風(fēng)和回風(fēng)口所占面積的比例,計算凈化組合式空調(diào)機組的送風(fēng)量是以送風(fēng)速度控制在0.3~0.5m/s來進行反向推算。②超凈無塵凈化車間的溫度和濕度控制范圍:冬季>攝氏16度,夏季<攝氏26度,波動范圍為±攝氏2度;濕度在45~65%之間,具體以生存的產(chǎn)品特點來確定,正常波動范圍在±5% ,濕度同時在不同的數(shù)量值時對室內(nèi)的靜電也有特殊的效果,所以凈化車間內(nèi)的濕度要綜合考慮;③噪音控制:超凈無塵凈化車間內(nèi)的噪音以工作人員的舒適度為主要依據(jù),國家噪音標準規(guī)定工作環(huán)境內(nèi)的噪音應(yīng)控制在≤65dB。④新風(fēng):為了室內(nèi)控制人員的舒適度問題,按照暖通通風(fēng)標準凈化車間內(nèi)要適當(dāng)補充新風(fēng),新風(fēng)量按照人員數(shù)量計算,按50m3/h計算。
四、光學(xué)超凈間設(shè)計關(guān)于空調(diào)材料的潔凈要求1.空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)管道采用鍍鋅鋼板制作,考慮到風(fēng)壓較大,建議采用中壓法蘭式風(fēng)管,外部采用橡塑作為保溫材料,橡塑需為阻燃性,以保證消防防火安全。2.高效送風(fēng)口可采用冷軋板制作,目前市面上有不銹鋼材質(zhì)高效送風(fēng)口,但根據(jù)永科的施工經(jīng)驗,不銹鋼高效送風(fēng)口強度較差,在高風(fēng)壓的狀態(tài)下容易變形。而且不銹鋼高效送風(fēng)口的誕生主要是用于食品企業(yè)SC生產(chǎn)凈化車間,此類車間對細菌數(shù)量有嚴格要求,但凈化級別較低,僅為10級凈化,送風(fēng)量要求比較小,風(fēng)壓也較小,這與光學(xué)微電子超凈無塵車間的需求不一樣,所以不建議超凈無塵凈化車間的空調(diào)系統(tǒng)使用。3.回風(fēng)口須采用可開可調(diào)式風(fēng)口,不應(yīng)該采用固定百葉回風(fēng)口,超凈無塵凈化車間內(nèi)須在回風(fēng)口安裝中效過濾器,同時在潔凈車間的日常使用維護中,也需要定期清洗,可開式風(fēng)口便于更換中效過濾器和衛(wèi)生清理;可調(diào)式風(fēng)口的作用主要是為了調(diào)節(jié)超凈無塵區(qū)域與普通潔凈區(qū)域的氣流組織,通過調(diào)節(jié)回風(fēng)口上的百葉,可達到調(diào)節(jié)室內(nèi)外壓差的作用。
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