以集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)和以TFT-LCD為代表的光電子產(chǎn)業(yè)對其生產(chǎn)環(huán)境（建筑、結構、空氣、水、溶劑、供電、控制......）的要求極為嚴格和苛刻，而且隨著技術的不斷發(fā)展、更新?lián)Q代對環(huán)境的要求也不斷的升級。
建設潔凈廠房的投資非常高，費用非常大。而且潔凈廠房的潔凈級別高、凈化送風量大，工藝設備排風量大、新風量大、廠房溫濕度要求嚴、精度高，空氣溫濕處理消耗能量大，運行耗電量大、運行費用高。目前高級別潔凈廠房的做法有以下幾種：
（1）局部高級別凈化代替全面高級別凈化
設計時應根據(jù)生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的實際要求，該高則高，該低則低。在允許的情況下盡量將高級別凈化的加工空間控制在小區(qū)域范圍內，盡量減少高凈化級別面積，以局部高級別凈化代替全面高級別凈化，以降低初投資和運行費用。
（2）空氣處理和空氣輸送方式
在高潔凈級別的潔凈廠房設計中，空氣處理和空氣輸送方式大體可分為三類，即：空氣集中處理集中輸送方式，空氣半集中處理半集中輸送方式(海灣式、遂道式)和FFU加干盤管加新風機組方式。
（3）空調和凈化分離
為了減少空氣熱濕處理過程中的無效能耗(如再熱等)和空氣輸送的能耗，在潔凈廠房設計中往往將保證潔凈廠房溫、濕度的空氣（10%左右）和保證室內潔凈度的空氣（90%左右）分開處理，被稱作空調與凈化的分離。一般負擔室內溫、濕度的部分空氣要經(jīng)過設在空調機房內的空氣處理機（AHU）進行熱濕處理達到設計參數(shù)后送到送風靜壓室內。而負擔潔凈度的部分空氣就地附近循環(huán)，同時在送風靜壓室內與經(jīng)空調器處理的部分空氣混合再經(jīng)過高效過濾器(HEAP)或超高效過濾器（ULPA）過濾后送到潔凈廠房內。這樣不僅節(jié)省了冷卻和再熱的無效能耗同時減少了70%空氣的輸送能耗，另外還省掉了大約50~80%的空調機房面積。
（4）加強室外新風的處理
為了提高產(chǎn)品的質量和成品率必須加強對新風的凈化處理。常用的處理方法如下：
①噴水法是較好的處理方法，就是在新風空調器中采用傳統(tǒng)的噴水室。噴城市自來和噴純凈水。采用噴水的方法對處理SOX、NOX、Na和Cl都有較好的效果，尤其是噴純凈水。
②采用化學過濾器和活性炭過濾器也是較好的方法：它們是利用物理吸附加上化學吸附的原理來處理低濃度分子態(tài)的化學污染物質。采用化學過濾器和活性炭過濾器的同時要考慮到它們的再生，還原和廢棄處理等問題，不應產(chǎn)生二次污染。某微電子廠的新風處理機采用了十二個功能段(兩級加熱、兩級表冷、兩級淋水、四級過濾和一級加濕)。
潔凈空調系統(tǒng)設計是個復雜的系統(tǒng)工程，而且隨著人們生活水平的日益提高以及對潔凈技術認識的不斷深化，對潔凈空調技術也提出了更高的要求。在微電子領域等對潔凈技術要求較高的特殊場合下，研究空調系統(tǒng)設計的特殊性以及探索開發(fā)出更科學合理的空調方式，對保證人體健康和工作效率具有深遠而廣泛的現(xiàn)實意義。
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