一、防火設計難點
（一）生產(chǎn)工藝連續(xù)防火分區(qū)劃分難
電子工業(yè)產(chǎn)品越來越新穎，生產(chǎn)工藝難度越來越大，生產(chǎn)設備的結(jié)構(gòu)也越來越復雜。微小的差異會導致工藝偏差，需要精準的設置生產(chǎn)設備和管道。氣體和化學品管道和風管相互交錯，通過各種復雜的管線連接生產(chǎn)設備，生產(chǎn)設備與相關(guān)連接管線的走向直接關(guān)系到生產(chǎn)效率和可否正常生產(chǎn)。廠房的潔凈室和輔助生產(chǎn)區(qū)都難以采用防火墻、防火卷簾等方式劃分防火分區(qū)。
（二）安全疏散距離長
廠房的長寬通常在200~300m，安全疏散距離過長。一是首層室內(nèi)任一點至安全出口的疏散距離難以滿足規(guī)范要求：二是疏散樓梯間在首層難以設置直通室外出口；三是生產(chǎn)工藝設備和管線復雜，加大了行走距離和疏散方向辨識性差。
（三）大跨度密閉空間滅火救援難
廠房內(nèi)可燃或有毒氣體和危險化學品的使用幾乎遍布整個生產(chǎn)過程，燃燒物質(zhì)復雜，不同工段存在不同形式的燃燒，滅火處置方法不同。潔凈生產(chǎn)區(qū)和上下技術(shù)夾層貫通形成密閉的大空間，燃燒時產(chǎn)生的煙氣和熱量難以排除，易“轟燃”形成大面積燃燒，甚至造成結(jié)構(gòu)坍塌，滅火救援難度極大。
（四）工藝排風管道無法設置防火閥
工藝排風管設置防火閥時，防火閥門的誤動作會造成整個生產(chǎn)工藝停機，防火閥動作關(guān)閉，有害氣體殘留在排風管道內(nèi)也會造成危害。當潔凈室內(nèi)部火災發(fā)生時，工藝排風系統(tǒng)保持運行，可通過工藝排風管將有害氣體排出。由于工藝排風管無法設防火閥，工藝排風管道會成為火災蔓延的途徑，通過排風管道向屋頂蔓延。
二、防火設計措施
（一）提高建筑構(gòu)件耐火極限
廠房建筑的耐火等級應為一級，在滿足GB50016-2014《建筑設計防火規(guī)范》(以下簡稱“建規(guī)")第3.2.1條規(guī)定的建筑構(gòu)件耐火極限的基礎(chǔ)上可適當提高。
(1)防火墻、防火隔墻采用200mm加氣混凝土砌塊材料，防爆區(qū)隔墻采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土墻體。
(2)樓板采用150mm鋼筋混凝土現(xiàn)澆整體式梁板。
(3)鋼柱、鋼梁、鋼桁架均采用厚涂型防火涂料保護。在屋頂鋼結(jié)構(gòu)下方設置50 mm巖棉夾芯板，下部外露部分鋼結(jié)構(gòu)采用鍍鋅鋼板覆蓋保護。
(4)屋面采用內(nèi)外鍍鋅鋼板夾125mm玻璃棉，不用任何可燃材料。
(5)各種管道通過管道井進入各層的生產(chǎn)設備，管道井壁采用防火墻，檢查門采用甲級防火門。
(6)廠房主體下層潔凈室或輔助生產(chǎn)區(qū)的外墻采用加氣混凝土砌塊墻，有效防止下層火災向上層蔓延。
（二）防火分區(qū)按生產(chǎn)工藝確定
按“電潔規(guī)”第6.2.3條規(guī)定：丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。半導體生產(chǎn)廠房1層設有輔助生產(chǎn)區(qū)，主要布置真空泵和尾氣處理等工藝，為潔凈室生產(chǎn)工藝服務。雖然沒有高潔凈度的要求，但工藝管道密集，設備安裝精度要求高，難以劃分多個防火分區(qū)，每個防火分區(qū)允許建筑面積也可結(jié)合生產(chǎn)工藝確定。
（三）重點火災危險部位的防火分隔
易燃化學品的儲存和分配間、可燃有毒氣體的儲存和分配間、貼膜曝光間、藍粉著色間等火災危險性為甲、乙類的供應間和生產(chǎn)工段必須靠外墻布置，采用耐火極限不低于4.00 h的防爆墻與廠房其他部位分隔，并設獨立的安全出口。避免甲、乙類的供應間和生產(chǎn)工段的泄爆口對安全疏散和滅火救援的影響。真空泵和尾氣處理裝置等工藝裝置可采用耐火極限不低于2.00h的加氣混凝土砌塊墻和甲級防火門分隔為防火單元。
（四）首層設置直通室外通道
按“電潔規(guī)”第6.2.7條規(guī)定：丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于“建規(guī)”規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍(即：高層廠房不大于60 m，多層廠房不犬于90m)。廠房跨度大，難以滿足規(guī)范要求。
（五）排除煙和熱的措施
滅火救援窗排除煙和熱
潔凈廠房生產(chǎn)的密閉性要求高，潔凈室為無窗房間，火災案例中反映出僅設置機械排煙系統(tǒng)不能滿足火災中排煙排熱的需求。為在火災初期不影響機械排煙，又能在火災規(guī)模較大后及時排出煙和熱，設置便于開啟的固定窗，既可作為滅火救援窗，又可在排煙過程中導出熱量，防止建筑物在高溫下出現(xiàn)倒塌等惡劣情況，為火災撲救提供較好的內(nèi)攻條件。設置要求如下：
(1)滅火救援窗間距不宜大于20 m，設有明顯標志。
(2)滅火救援窗可設置雙層，外側(cè)為可擊碎固定窗，內(nèi)側(cè)為夾芯板電動門，電動門可手動、遠程和熱熔斷控制開啟。
(3)滅火救援窗應避開易燃易爆房間的泄爆面。
自然通風豎井排除煙和熱
廠房建筑跨度大(超過300 m)，僅外墻設置滅火救援窗難以滿足火災中建筑中部排煙排熱的需求，可在建筑中部適當位置設置具有一定截面積的自然通風豎井。豎井風口常閉以保證生產(chǎn)環(huán)境的密閉性，各層自然通風豎井獨立設置，豎井風口同時具備手動、遠程、280℃熔斷等幾種開啟方式，當火災規(guī)模較大時，機械排煙系統(tǒng)停止工作后，可開啟豎井風口排出煙和熱。
（六）加強工藝排風防火保護
火災時工藝排風系統(tǒng)要持續(xù)運行，應加強工藝排風系統(tǒng)防火保護。一是風管采用不銹鋼材質(zhì)，當排除酸性和腐蝕性氣體需要采用PVC等防腐蝕的難燃材質(zhì)時，風管內(nèi)部設置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)保護(采用銅質(zhì)噴頭表面石蠟保護)；二是排風管穿防火墻或防火隔墻、樓板時，設置2 m寬的防火隔離帶和兩側(cè)分別設置支架；三是工藝排風管宜采用獨立豎井或在共用豎井內(nèi)采取防火分隔措施。廠房潔凈室(區(qū))設置緊急排風系統(tǒng)，緊急排風換氣次數(shù)按不小于12次/h確定，火災時聯(lián)動啟動緊急排風系統(tǒng)。
（七）增設高壓細水霧噴槍
廠房內(nèi)設置室內(nèi)消火栓栓口65mm、壓力0.35MPa，一般人員操作比較困難。火災初期的控制非常重要，可增設高壓細水霧噴槍，保護半徑不宜大于50m。一是高壓細水霧不僅具有強烈的冷卻降溫及汽化窒息作用，還具有對煙霧、廢氣的洗滌作用，降煙洗塵性強，可直接對準火源進行滅火，噴霧強度大，達到快速滅火的目的；二是單人可輕松操作，滅火時只需要握緊槍托，對準火源扣動開關(guān)手柄即可進行滅火，后坐力很?。蝗菧缁鸱秶?，擴散噴霧滅火方式噴射距離大于8m，直流噴射滅火方式噴射距離大于12m。
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