一、凈化空調系統(tǒng)
目前，凈化空調主要有以下三種形式：
A.二次回風系統(tǒng)
這種系統(tǒng)中，室內一次回風和新風混合后，經過初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)處理后與二次回風混合，再經再熱、風機加壓、中效過濾器，最后經末端高效送風口送至室內。
該系統(tǒng)一般設計為定風量，風機變頻控制主要為了克服過濾器阻力的變化。
室內相對濕度控制：通過室內相對濕度傳感器，夏季控制冷水盤管的電動調節(jié)閥，冬季控制加濕器(干蒸氣加濕時)或控制熱水盤管的電動調節(jié)閥(循環(huán)水加濕時)。
室內溫度控制：通過室內溫度傳感器控制再熱盤管的電動調節(jié)閥。
該系統(tǒng)簡單，運行控制方便，可用于凈化級別ISO7級以下、室內排風量確定的潔凈室。隨著凈化級別的提高，系統(tǒng)風量增大，機房面積增大，而且龐大的送回風管道難以布置，因此在凈化級別較高、面積較大、工藝排風不穩(wěn)定的廠房中極少使用
B.新風機組+循環(huán)空調器系統(tǒng)
這種系統(tǒng)中，新風獨立處理，新風機組設于新風空調機房內，循環(huán)空調器設于生產廠房的吊頂上方。新風經初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)、再熱(調試時室內熱負荷較小時使用)、風機加壓、中效過濾器處理后送至各循環(huán)空調器。新風和室內回風在循環(huán)空調器中經冷卻、風機加壓、亞高效過濾處理后經末端高效送風口送至室內。
該系統(tǒng)一般設計為變風量，室內壓差傳感器控制新風機變頻器保證室內的壓力要求，室內微粒傳感器控制循環(huán)空調風機變頻器保證室內潔凈度要求。
室內相對濕度控制：通過室內相對濕度傳感器，夏季控制冷水盤管的電動調節(jié)閥，冬季控制加濕器(干蒸氣加濕時)或控制熱水盤管的電動調節(jié)閥(循環(huán)水加濕時)。
室內溫度控制：通過室內溫度傳感器控制循環(huán)空調的電動調節(jié)閥
該系統(tǒng)控制精度較高，只有新風機組置于機房，因此機房面積較小，常用于凈化級別ISO6級以下、幾乎所有的集成電路封裝測試廠房。隨著凈化級別的提高，該系統(tǒng)同樣面臨空調送風管較大，循環(huán)機組增大，占用吊頂上方空間較多的問題，因此，凈化級別在ISO6級以上，環(huán)境對振動要求較高的場合很少采用此系統(tǒng)。
C.新風機組+風機過濾單元(FFU) +干冷卻盤管(DCC)系統(tǒng)這種系統(tǒng)中，新風獨立處理，新風機組設于新風空調機房內，循環(huán)空調器設于生產廠房的吊頂上方。新風經初效過濾器、加熱(冬季工況)、加濕(冬季工況)、冷卻(夏季工況)、再熱(調試時室內熱負荷較小時使用)、風機加壓、中效過濾器、高效過濾器處理后與經過置于下技術夾層的干盤管(DDC)處理后的回風在回風夾道混合，再經置于吊頂上的風機過濾單元(FFU)送至室內。
該系統(tǒng)一般設計為變風量， 室內壓差傳感器控制新風機變頻器保證室內的壓力要求，室內微粒傳感器控制FFU變頻器保證室內潔凈度要求。
室內相對濕度控制：與上一系統(tǒng)相同。
室內溫度控制：通過室內溫度傳感器控制干盤管的電動調節(jié)閥。
該系統(tǒng)控制精度較高，系統(tǒng)靈活,特別適用于工藝布局不斷變化的芯片前工序生產廠房；然而這種形式的空調系統(tǒng)需要較大的上、下技術夾層，投資較大，因此多用于凈化級別高、因配管需要而需設置下技術夾層的芯片前工序生產廠房。
二、潔凈室排煙系統(tǒng)
國內規(guī)范對于大面積的潔凈室是否需要設置機械排煙未作出明確的強制性條文要求：僅《潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50073-2001)對潔凈廠房疏散走廊應設置機械排煙提出了黑體強制性條文的明確要求。最新的《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472-2008) 第7.6.1條延續(xù)《潔凈廠房設計規(guī)范》的規(guī)定，也只對潔凈廠房疏散走廊設置機械排煙提出了黑體強制性條文的明確要求：但是在條文解釋中又提到并不是僅僅潔凈廠房疏散走廊設置機械排煙系統(tǒng)，如果空間允許，并且工程項目業(yè)主希望設置機械排煙系統(tǒng)的，設計單位應密切配合進行空間協(xié)調，做好機械排煙系統(tǒng)的設計。同時在第7.6.2條中，又規(guī)定潔凈廠房排煙設施的設置應符合國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定；對于當同一防火分區(qū)的丙類潔凈室內人員密度小于0.02人/m2,且安全疏散距離小于80m時，潔凈室可不設置機械排煙系統(tǒng)。
其實，集成電路生產企業(yè)的業(yè)主通常會對整廠進行投保，由于此類生產中使用多種易燃易燥氣體或液體，火災危險性極大，因此保險商均要求設置機械排煙系統(tǒng)，否則會增加保費。所以，在集成電路生產廠房潔凈室內設置機械排煙系統(tǒng)是不可避免的：同時因潔凈室密閉性較好，應考慮補風措施。目前此類廠房國內外的排煙方式有三種：上排煙、下排煙、上下結合排煙。
A.上排煙：與目前其它場合的機械排煙系統(tǒng)類似?；馂臅r，打開設于潔凈室吊頂上的排煙口，開啟排煙風機排煙，排煙時關閉該區(qū)域的FFU，新風機組繼續(xù)運行，通過回風夾道進行補風。該系統(tǒng)較常用，但存在的問題是，火勢較小時，該排煙方式會迅速破壞潔凈室的環(huán)境，工藝設備會受到污染損壞，因此當在下技術夾層出現(xiàn)火災或在潔凈室出現(xiàn)危害性較小并能被迅速撲滅的小火時，因啟動了排煙系統(tǒng)而引起較大的經濟損失，這是業(yè)主或保險商所不愿意看到的。
B.下排煙：排煙口設于下技術夾層?；馂臅r，打開排煙口和排煙風機進行排煙，新風機組繼續(xù)運行，通過FFU補風，煙氣從下技術夾層排除。該方式對保護潔凈室環(huán)境有利，但弊端是，只要煙氣的上升速度超過FFU的下吹速度時，煙氣就會積聚在潔凈室上部而不被排除，因此該方式只有火災強度較小時才有效，因而很少被采用。
C.上下結合排煙：該方式將以上兩種方式結合使用，并在下技.術夾層和潔凈室吊頂下同時設置煙感。潔凈室小火或僅下技術夾層火災時，且僅當設于下技術夾層的煙感探測到煙霧時，啟用下排煙模式：當火勢增強，使得設于潔凈室吊頂下的煙感探測到煙霧時，停止下排煙，啟用上排煙模式。該系統(tǒng)在最大限度保證生產環(huán)境和工藝設備的同時，又能保證排煙效果，因此宜推薦采用，但是實際控制中存在尺度把握不準的問題，即很難及時區(qū)分大火小火的問題。目前，也有設計項目中，把上、下排煙口兼用于潔凈室內由于工藝機臺的化學品或者氣體泄露造成異味所需要的事故排風。
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