一、電氣設(shè)計(jì)
1.電子潔凈廠房的電氣設(shè)計(jì)
電子潔凈廠房電氣設(shè)計(jì)一般包括電力系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)及防雷接地系統(tǒng)，各系統(tǒng)與其它專業(yè)相互配合，是電子潔凈廠房安全生產(chǎn)不可缺少的因素。
2.電子潔凈廠房電力系統(tǒng)
確定負(fù)荷分級(jí)根據(jù)室外消防水量確定消防設(shè)備的負(fù)荷等級(jí)，根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求確定工藝設(shè)備的負(fù)荷等級(jí)，選用合理的供電方式。電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對(duì)電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備，設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置。
電子潔凈廠房中有些工藝設(shè)備是特殊電壓，根據(jù)特殊電壓設(shè)備分布及種類，確定采用集中式特種變壓器或分布式特種變壓器。
3.配電系統(tǒng)
電子潔凈廠房工藝設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備、照明設(shè)備配電系統(tǒng)分開，一般采用放射式、樹干式結(jié)合的配電方式分別進(jìn)入設(shè)備或電力照明配電箱。在設(shè)計(jì)時(shí)與業(yè)主充分溝通，選擇低壓電纜直接配電或采用母線槽的配電方式。
4.設(shè)備選擇
潔凈室的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備。配電箱可暗裝在回風(fēng)夾道或灰區(qū)內(nèi)。利用箱內(nèi)的低壓斷路器或漏電斷路器作過載、短路及漏電保護(hù)，并采用手動(dòng)斷合操作。工藝配電箱配電按照工藝流程合理劃分。在腐蝕性區(qū)域內(nèi)各類電氣設(shè)備及附件如支架、螺母等都應(yīng)選用防腐蝕材料。防爆房間內(nèi)電氣設(shè)備防爆等級(jí)符合規(guī)范要求，在爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)，電氣設(shè)備的金屬外殼應(yīng)可靠接地。
5.導(dǎo)線選擇和線路敷設(shè)
潔凈室為密閉空間，一旦出現(xiàn)火情時(shí)煙氣不易排出，為確保工作人員的安全和健康，一般采用低煙無鹵電纜。為保證潔凈生產(chǎn)區(qū)的潔凈度，橋架、母線在技術(shù)夾層敷設(shè)。電纜在有橋架處在橋架內(nèi)敷設(shè)，出橋架后穿鍍鋅鋼管敷設(shè)。由于潔凈廠房各專業(yè)管線較多，在設(shè)計(jì)時(shí)需與其他專業(yè)管道協(xié)調(diào)，做到清晰合理，方便使用和檢修。由非凈化區(qū)進(jìn)入凈化區(qū)和不同級(jí)別凈化區(qū)之間的電氣管線，應(yīng)在穿墻處和管口處做好密封處理，穿越防火墻的電氣線路均在出入口處作防火和密封處理。腐蝕間配電線路穿PVC管保護(hù)，支架等電氣附件均刷防腐涂料或選用防腐蝕材料。所有穿過防爆區(qū)場(chǎng)所內(nèi)的隔墻的管線，穿厚壁鍍鋅鋼管敷設(shè)，且其鋼管與墻板間的縫隙均應(yīng)按防爆施工要求做好密封。
6.配電設(shè)備的安裝方式
在潔凈區(qū)內(nèi)配電箱在灰區(qū)、回風(fēng)夾道處安裝。安裝于回風(fēng)夾道內(nèi)的配電箱箱體到位后，再按照配電箱的實(shí)際尺寸在金屬壁板上開洞。安裝于回風(fēng)夾道的配電箱進(jìn)線處需密封處理。
二、電子潔凈廠房照明系統(tǒng)
電子潔凈廠房照明分為一般照明、備用照明和應(yīng)急照明。為保證潔凈生產(chǎn)區(qū)的潔凈度，潔凈廠房采用潔凈室專用的潔凈燈具，燈具安裝時(shí)，要密封處理好，便于更換燈管、清掃。當(dāng)采用FFU龍骨時(shí)，照明燈具一般選擇配合FFU龍骨使用的燈具，避開風(fēng)口，便于安裝。由于潔凈室照度要求較高，且風(fēng)口較多，潔凈區(qū)的照明光源采用高效熒光燈，所有燈具均采用節(jié)能光源，對(duì)感光度有要求的生產(chǎn)場(chǎng)所(如光刻區(qū))采用黃色光源。潔凈區(qū)主要生產(chǎn)用房一般照明照度值為300~5001x，輔助區(qū)照度值為200～300lx，電氣設(shè)計(jì)時(shí)需要與工廠使用部門溝通確認(rèn)，以達(dá)到使用方的要求。備用照明作為正常照明的一部分，且不應(yīng)低于該場(chǎng)所一般照明照度值的20%。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)設(shè)置供人員疏散用應(yīng)急照明，其照度不低于5.01x。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。生產(chǎn)廠房技術(shù)夾層內(nèi)管道多且復(fù)雜，應(yīng)設(shè)置檢修照明，便于檢修人員使用。
三、電子潔凈廠房接地系統(tǒng)
電子潔凈廠房防雷接地與設(shè)備的工作接地、保護(hù)接地等共用接地網(wǎng)，接地電阻不大于1Ω。潔凈廠房?jī)?nèi)金屬物體包括潔凈室的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌?，?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接；導(dǎo)靜電地面、活動(dòng)地板、工作臺(tái)面、座椅等應(yīng)做靜電接地。潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)做防靜電接地；潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或者粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。電氣設(shè)計(jì)中需要與工廠使用部門溝通，確定設(shè)備防靜電接地、信號(hào)接地、屏蔽接地、設(shè)備獨(dú)立接地的要求。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距，并且做好爆炸環(huán)境的防靜電接地、氫氣管道防靜電接地以及氧氣管道防靜電接地。
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