![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某二級(jí)生物實(shí)驗(yàn)室的暖通設(shè)計(jì)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于某二級(jí)生物實(shí)驗(yàn)室的暖通設(shè)計(jì)")
1.送風(fēng)系統(tǒng)空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)置粗、中、高三級(jí)空氣過濾。第一級(jí)是粗效過濾器，對(duì)于≥5μm大氣塵的計(jì)數(shù)效率不低于50%，設(shè)置在空調(diào)機(jī)組的人口處。第二級(jí)是中效過濾器，設(shè)置在空調(diào)機(jī)組的出口處。第三級(jí)是高效過濾器，設(shè)置在系統(tǒng)末端的高效送風(fēng)口內(nèi)。另外在5層的兩套全新風(fēng)空調(diào)機(jī)組的表冷器前，各設(shè)置一道保護(hù)用的中效過濾器。高效過濾送風(fēng)口前安裝一個(gè)定風(fēng)量調(diào)節(jié)閥，主要是因?yàn)楦咝н^濾器會(huì)因?yàn)榛覊m的積聚引起阻力的增加比較大，進(jìn)而引起送風(fēng)量的減小，最后導(dǎo)致室內(nèi)壓力被破壞。安裝定風(fēng)量調(diào)節(jié)閥可以彌補(bǔ)這方面的損失，最大限度的恒定室內(nèi)壓力。2.排風(fēng)系統(tǒng)本設(shè)計(jì)采用的排風(fēng)方式，是生物安全柜排風(fēng)和房間排風(fēng)共用一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。當(dāng)生物安全柜不工作時(shí)，變風(fēng)量調(diào)節(jié)閥b關(guān)閉，變風(fēng)量調(diào)節(jié)閥c全開。當(dāng)生物安全柜工作時(shí)，根據(jù)生物安全柜的開度變風(fēng)量調(diào)節(jié)閥b，c自動(dòng)調(diào)節(jié)到預(yù)先設(shè)定好的風(fēng)量。相比生物安全柜排風(fēng)和房間排風(fēng)分設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)，這樣做有以下優(yōu)點(diǎn)。第一，排風(fēng)過濾機(jī)組的風(fēng)量可以恒定設(shè)置(即保持通風(fēng)柜排風(fēng)和房間排風(fēng)之和恒定)，這樣排風(fēng)過濾機(jī)組的選型和風(fēng)量控制都比較容易。第二，由于排風(fēng)總量是恒定的，所以送風(fēng)總量也可以恒定設(shè)置，這樣既節(jié)約投資，房間內(nèi)的壓力控制也比較可靠。第三，少設(shè)一套排風(fēng)機(jī)組不僅節(jié)約了投資和運(yùn)行維護(hù)成本，也減少了設(shè)備擺放空間。這點(diǎn)也許從單間實(shí)驗(yàn)室來看并不明顯，但對(duì)整個(gè)實(shí)驗(yàn)樓大量的實(shí)驗(yàn)室來說可以節(jié)約不少資金，更重要的是還節(jié)約了大量的設(shè)備擺...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
29
瀏覽次數(shù)：13
![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于實(shí)驗(yàn)室排風(fēng)系統(tǒng)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于實(shí)驗(yàn)室排風(fēng)系統(tǒng)")
通風(fēng)柜的排風(fēng)系統(tǒng)可分為集中式和分散式兩種。集中式是把一層 樓面或幾層樓面的的通風(fēng)柜組成一個(gè)系統(tǒng)，或者整個(gè)實(shí)驗(yàn)樓分成一二個(gè)系統(tǒng)。它的特點(diǎn)是通風(fēng)機(jī)少，設(shè)備投資省，而且對(duì)通風(fēng)柜的數(shù)量稍有增減，以及位置的變更，都具有一定的適應(yīng)性。然而由于系統(tǒng)較大，風(fēng)量不易平衡，盡管每個(gè)通風(fēng)柜上都裝有調(diào)節(jié)閥，但使用不方便，并且也不容易達(dá)到預(yù)定的效果。如果系統(tǒng)風(fēng)管損壞需要檢修時(shí)，那么整個(gè)系統(tǒng)的通風(fēng)柜就無法使用。所以，原來采用集中式系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室，先后都改為用分散式系統(tǒng)。分散式是把一個(gè)通風(fēng)柜或同房間的幾個(gè)通風(fēng)柜組成一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)。 他的特點(diǎn)是：可根據(jù)通風(fēng)柜的工作需要來啟閉通風(fēng)機(jī)，相互不受干擾，容易達(dá)到預(yù)定的效果，而且比集中式節(jié)省能源，因?yàn)榧惺较到y(tǒng)，只要一個(gè)通風(fēng)柜在使用，就得開動(dòng)大通風(fēng)機(jī)。分散式由于系統(tǒng)小，排風(fēng)量也小，阻力也小，所以通風(fēng)機(jī)的風(fēng)量、風(fēng)壓都不大，躁聲與振動(dòng)相應(yīng)也較小。分散式還有一個(gè)特點(diǎn)，是對(duì)排出不同性質(zhì)的有害氣體易于處理。缺點(diǎn)是通風(fēng)機(jī)的數(shù)量多、系統(tǒng)多，如果通風(fēng)機(jī)集中于通風(fēng)機(jī)房內(nèi)，那么投資就會(huì)增大，如果通風(fēng)機(jī)分散布置，而且就地安裝，雖然通風(fēng)機(jī)的投資增加，但風(fēng)管的投資可節(jié)省，最后總投資不一定增大。建議使用分散式。在劃分系統(tǒng)時(shí)，同一個(gè)房間內(nèi)如有兩個(gè)以上的通風(fēng)柜，應(yīng)劃為一個(gè)系統(tǒng)，避免-一個(gè)通風(fēng)柜在使用，其他的通風(fēng)柜產(chǎn)生倒流，使室內(nèi)受到污染。同樣，一個(gè)房間內(nèi)除了一個(gè)排風(fēng)系統(tǒng)外，不宜再裝置其他排風(fēng)設(shè)備。排風(fēng)系統(tǒng)的通...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
27
瀏覽次數(shù)：12
一、負(fù)壓隔離病房建筑布局要求（1）建筑平面要求1.綜合醫(yī)院中，負(fù)壓隔離病房應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，盡量置于建筑的一端、一側(cè)，自成一區(qū)，并處于該地區(qū)全年最多風(fēng)向的下風(fēng)方向。2.負(fù)壓隔離病房排風(fēng)口與周圍公共建筑的距離至少在20m以上。3.負(fù)壓隔離病房所在的病區(qū)，應(yīng)嚴(yán)格劃分清潔區(qū)、半污染區(qū)和污染區(qū)。一次更衣處及其之外為清潔區(qū)，之內(nèi)的公共走廊為半污染區(qū)，病房及其衛(wèi)生間、病人進(jìn)入的外走廊為污染區(qū)。4.負(fù)壓隔離病房所在病區(qū)，除負(fù)壓隔離病房外，還應(yīng)設(shè)置必要的輔助用房。5.不同區(qū)域之間，按空氣潔凈與污染控制的一般原則應(yīng)設(shè)緩沖間。病房與公共走廊之間必須設(shè)置緩沖間。如有供病人進(jìn)入的外走廊病人通道，則外走廊與病房之間必須設(shè)立緩沖間，外走廊與外界之間宜設(shè)置緩沖間。烈性呼吸道傳染病區(qū)的病房、公共走廊與清潔區(qū)之間必須設(shè)置緩沖間。6.若負(fù)壓病房所在病區(qū)設(shè)置在其他建筑物內(nèi)，其出入口應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，可以封閉消毒。7.負(fù)壓隔離病房分單人間、雙人間和多人間。烈性呼吸道傳染病人和疑似病人應(yīng)使用單人間。多人間人數(shù)不應(yīng)超過4人。8.負(fù)壓隔離病房的面積(不含衛(wèi)生間)應(yīng)考慮床邊X光機(jī)、呼吸機(jī)的放置要求，應(yīng)符合規(guī)定。9.負(fù)壓隔離病房凈高不應(yīng)小于2.8m。10.負(fù)壓隔離病房應(yīng)附設(shè)衛(wèi)生間(含坐便器、淋浴器、非手動(dòng)式龍頭、臉盆)。（2）負(fù)壓隔離病房人物流控制要求。1.病人通道凈寬不宜小于2.4m，有高差者必須用無障礙坡道相接，并采用防滑措施。2.負(fù)壓隔...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
26
瀏覽次數(shù)：6
![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于P3生物實(shí)驗(yàn)室安全設(shè)計(jì)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于P3生物實(shí)驗(yàn)室安全設(shè)計(jì)")
一、設(shè)計(jì)條件及規(guī)范要求在進(jìn)行P3生物安全實(shí)驗(yàn)室的設(shè)計(jì)建設(shè)之前，需要對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行立項(xiàng)并完成建設(shè)用地的批準(zhǔn)，并對(duì)設(shè)計(jì)的可行性和選址周圍環(huán)境進(jìn)行考察，在均滿足要求的情況下，才能進(jìn)行項(xiàng)目設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)P3生物安全實(shí)驗(yàn)室時(shí)，需滿足一般建筑的設(shè)計(jì)規(guī)范，同時(shí)還要在《生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范》和(實(shí)驗(yàn)室生物安全通用要求》的指導(dǎo)下進(jìn)行設(shè)計(jì)。二、平面設(shè)計(jì)氣溶膠是引起 P3生物安全實(shí)驗(yàn)室安全事故的主要因素，其具有不易讓人察覺的擴(kuò)散性和易生性。所以在設(shè)計(jì)P3生物安全實(shí)驗(yàn)室時(shí)，需要設(shè)置防護(hù)區(qū)和輔助工作區(qū)，并有嚴(yán)格的預(yù)防措施，可在P3生物安全實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)隔離區(qū)或單獨(dú)的房間。P3生物安全實(shí)驗(yàn)室的結(jié)構(gòu)應(yīng)當(dāng)簡單明了，便于人員的移動(dòng)，杜絕交叉感染。如今有”三區(qū)一通道”和“三區(qū)二通道”這兩種P3生物安全實(shí)驗(yàn)室的結(jié)構(gòu)模式，其中的三區(qū)指的是清潔輔助區(qū)、污染防護(hù)區(qū)，以及半污染防護(hù)區(qū)。當(dāng)前建設(shè)的P3生物安全實(shí)驗(yàn)室多為”三區(qū)一通道”的形式，這主要是因?yàn)榻ㄔO(shè)P3生物安全實(shí)驗(yàn)室的費(fèi)用較高并且運(yùn)營花費(fèi)較高，因此設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)室大多只有2~3個(gè)主實(shí)驗(yàn)室。P3生物安全實(shí)驗(yàn)室的清潔輔助區(qū)包含物料存儲(chǔ)間、衣物清洗和更換間，以及監(jiān)控室；污染防護(hù)區(qū)主要進(jìn)行核心試驗(yàn)；半污染防護(hù)區(qū)是進(jìn)行核心試驗(yàn)前后的緩沖區(qū)域，主要有防護(hù)服更換間、淋浴間，以及核心試驗(yàn)緩沖間。三、設(shè)計(jì)人流、物流路線在P3生物安全實(shí)驗(yàn)室中，要以合理的路線和嚴(yán)格的規(guī)范進(jìn)行人流、物流工作。在經(jīng)費(fèi)許可的...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
25
瀏覽次數(shù)：12
一、原料藥生產(chǎn)車間GMP設(shè)計(jì)車間工藝設(shè)計(jì)是整個(gè)車間設(shè)計(jì)的中心，而工藝流程設(shè)計(jì)又是車間工藝設(shè)計(jì)的中心。車間布置設(shè)計(jì)的任務(wù)：第一是確定車間的火災(zāi)危險(xiǎn)類別，爆炸與火災(zāi)危險(xiǎn)性場所等級(jí)及衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。第二是確定車間建筑(構(gòu)筑)物和露天場所的主要尺寸，并對(duì)車間的生產(chǎn)，輔助生產(chǎn)和行政生活區(qū)域位置作出安排。第三是確定全部工藝設(shè)備的空間位置。（一）化學(xué)制藥生產(chǎn)車間GMP設(shè)計(jì)要點(diǎn)(1)化學(xué)制藥合成車間的生產(chǎn)級(jí)別一般為甲類，耐火等級(jí)一般為Ⅰ級(jí)。(2)化學(xué)制藥合成車間獨(dú)立設(shè)置，并采用敞開或半敞開式的廠房，要設(shè)置必要的瀉壓設(shè)施，頂棚應(yīng)盡可能平整，避免死角廠房上部空間應(yīng)通風(fēng)良好與其他建筑的距離應(yīng)在10米以上。(3)車間平面布置做到人，物流分開，工藝路線暢通，物流路線短捷，不返流。(4)防爆防靜電處理(5)產(chǎn)塵，散熱的處理（二）中藥提取車間GMP設(shè)計(jì)要點(diǎn)1、車間一般分為提取區(qū)，濃縮區(qū)，醇沉區(qū)，干燥包裝區(qū)；2、提取一般采用立體式布置，充分考慮到操作方便，提取罐及冷卻系統(tǒng)的高度排渣的方式及空間。3、醇提，醇沉，液媒回收區(qū)要采取防火，防爆措施。4、提取車間最后工序，即干燥，包裝區(qū)按與所對(duì)應(yīng)的制劑廠房的潔凈級(jí)別要求，采取相應(yīng)的潔凈措施。二、制劑車間GMP設(shè)計(jì)（一）口服固體制劑車間GMP設(shè)計(jì)1、進(jìn)入潔凈區(qū)的操作人員和物料不能合用一個(gè)入口。2、操作人員和物料進(jìn)入潔凈區(qū)應(yīng)設(shè)置各自的凈化用室或采取相應(yīng)的凈化措施。3、潔凈生產(chǎn)區(qū)只設(shè)...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
24
瀏覽次數(shù)：12
一、車間設(shè)計(jì)的要求和原則（一）要求1)生產(chǎn)設(shè)備要按工藝流程的順序配置，在保證生產(chǎn)要求、安全及環(huán)境衛(wèi)生的前提下，盡量節(jié)省廠房面積與空間，減少各種管道的長度。2)保證車間盡可能充分利用自然采光與通風(fēng)條件，使各個(gè)工作地點(diǎn)有良好的勞動(dòng)條件。3)保證車間內(nèi)交通運(yùn)輸及管理方便。萬一發(fā)生事故， 人員能迅速安全地疏散。4)廠房結(jié)構(gòu)要緊湊簡單，并為生產(chǎn)發(fā)展及技術(shù)革新等創(chuàng)造有利條件。（二）原則1)各工序的設(shè)備布置要與主要流程順序相一致， 是生產(chǎn)線路成鏈狀排列而無交叉遷回現(xiàn)象，并盡可能自流輸送，力求管線最短。2)注意改善操作條件，對(duì)勞動(dòng)條件差的工段要充分考慮朝向、風(fēng)向、門窗、排氣、除塵及通風(fēng)設(shè)施的安裝位置。設(shè)備的操作面應(yīng)迎著光線，使操作人員背光操作。3)輔料制備車間應(yīng)與適用設(shè)備靠近，但如液氯汽化、制漂等有污染和粉塵部分，應(yīng)有墻與車間隔開，應(yīng)有通風(fēng)等必要的設(shè)施。4)冬天無嚴(yán)重冰凍地區(qū)的工廠可考慮把不適宜在車間內(nèi)布置的設(shè)施，布置在室外。高壓容器等有爆炸危險(xiǎn)的設(shè)備應(yīng)布置在室外。并有安全報(bào)警和事故排空等安全措施。5)設(shè)備布置在樓面還是布置在底層，要視樓面荷載及是否利用位差輸送等因素而定。一般洗漿設(shè)備布在樓面，黑液槽及漿池布在底層。6)相互聯(lián)系的設(shè)備在保證正常運(yùn)行、操作、維修、交通方便和安全條件下，盡可能靠近。7)設(shè)備與墻柱之間的間距，無人通過最小500mm，有人通過最小800mm8)泵與泵之間間距一般1000m...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
23
瀏覽次數(shù)：21
一、 實(shí)驗(yàn)室用水等級(jí)劃分根據(jù)GB/T 6682-2008《分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法》的規(guī)定，分析實(shí)驗(yàn)室用水的原水應(yīng)為飲用水或適當(dāng)純度的水。并將實(shí)驗(yàn)室用水分為三個(gè)級(jí)別一級(jí)水、二級(jí)水和三級(jí)水。一級(jí)水用于有嚴(yán)格要求的分析實(shí)驗(yàn) ， 包括對(duì)顆粒有要求的實(shí)驗(yàn)，如高效液相色譜用水。一級(jí)水可用二級(jí)水經(jīng)過石英設(shè)備蒸餾水或離子交換混合窗處理后，再0.2納米微孔濾膜過濾來制取。二級(jí)水用于無機(jī)痕量分析等實(shí)驗(yàn)，如原子吸收光譜人系用水。二級(jí)水可用多次蒸餾或離子交換等制取。三級(jí)水用于一般的化學(xué)分析試驗(yàn)。三級(jí)水可用蒸餾或離子交換的方法制取。二、實(shí)驗(yàn)室常見用水的種類：1、蒸餾水( Distilled Water )實(shí)驗(yàn)室最常用的一種純水，雖設(shè)備便宜，但極其耗能和費(fèi)水且速度慢，應(yīng)用會(huì)逐漸減少。蒸餾水能去除自來水內(nèi)大部分的污染物，但揮發(fā)性的雜質(zhì)無法去除， 如二氧化碳、氨、二氧化硅以及一些有機(jī)物。新鮮的蒸餾水是無菌的，但儲(chǔ)存后細(xì)菌易繁殖；此外，儲(chǔ)存的容器也很講究，若是非惰性的物質(zhì)，離子和容器的塑形物質(zhì)會(huì)析出造成二次污染。2、去離子水( Deionized Water )應(yīng)用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機(jī)物，可以污染離子交換柱從而降低其功效， 去離子水存放后也容易引起細(xì)菌的繁殖。3、反滲水( Reverse osmosis Water )其生成的原理是水分子在壓力的作用下， 通過反滲透...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
22
瀏覽次數(shù)：8
![廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)]( "廣東賽特凈化設(shè)備有限公司關(guān)于裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)")
一、一般規(guī)定（一）裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1.新建潔凈 手術(shù)室根據(jù)常規(guī)建筑柱網(wǎng)尺寸、層高數(shù)據(jù)，進(jìn)行功能化手術(shù)室設(shè)計(jì)，宜配合建筑信息技術(shù)(BIM)進(jìn)行模塊化潔凈手術(shù)室規(guī)劃，并符合有關(guān)規(guī)定要求；2.潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)的規(guī)模、設(shè)備配置、潔凈等級(jí)應(yīng)符合醫(yī)院的功能需求，應(yīng)確定潔凈手術(shù)室的工作內(nèi)容： 3.潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)應(yīng)按實(shí)際手術(shù)部面積及需求等級(jí)，合理劃分手術(shù)室單元面積；4.潔凈手術(shù)室建筑層高符合一級(jí)潔凈手術(shù)室或特大型潔凈手術(shù)室(復(fù)合手術(shù)室)宜大于5m，二級(jí)及以下潔凈手術(shù)室不宜小于4.5m；5.潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)確認(rèn)單一潔凈手術(shù)室三維空間體量，應(yīng)為附屬設(shè)施部品體系、模塊化機(jī)電部品體系和智能化部品體系提供參數(shù)。（二）裝配式潔凈 手術(shù)室應(yīng)進(jìn)行模塊化設(shè)計(jì)，并應(yīng)出具節(jié)點(diǎn)圖及部品部件的裝配方法、裝配順序等文件。（三）裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)應(yīng)綜合考慮不同材料、設(shè)備、設(shè)施具有不同的使用年限，應(yīng)便于裝配、使用維護(hù)和維修。（四）裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)選用材料和部品符合以下規(guī)定：1.裝配式潔凈 手術(shù)室設(shè)計(jì)選用材料應(yīng)能實(shí)現(xiàn)模塊化；2.裝配式潔凈手術(shù)室設(shè)計(jì)所選用材料應(yīng)滿足手術(shù)室潔凈等級(jí)要求，宜符合相關(guān)規(guī)定；3.有防輻射要求的潔凈手術(shù)室，內(nèi)飾面墻板不應(yīng)選用鋼板類材料，防輻射層應(yīng)采用獨(dú)立承重結(jié)構(gòu)。（五）裝配式潔凈手術(shù)室建筑信息技術(shù)(BIM)協(xié)同設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1.應(yīng)實(shí)現(xiàn)內(nèi)裝部品體系、附屬設(shè)施部品體系、模塊化化機(jī)電...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
20
瀏覽次數(shù)：11
一、金屬壁板(壁板墻和吊頂板)常規(guī)選用的壁板共有四種：即巖棉板、聚苯板、聚胺脂板和蜂窩板。巖棉板有PVC熱貼復(fù)合巖棉板和彩鋼巖棉板；蜂窩板有鋁蜂窩板，紙蜂窩板和有機(jī)材料蜂窩板；聚苯板和聚胺脂板一般為彩鋼板。裝配形式為積木化序列插嵌安裝，并且在所需壁板墻體和吊頂?shù)闹虚g某些部位，設(shè)置若干可任意拆卸的活動(dòng)壁(頂)板易于壁(頂)的安裝和配合工藝變更的拆改及重新調(diào)整，具有充分的靈活性，壁板內(nèi)部的適當(dāng)位置可設(shè)置專用中空槽，用于開關(guān)、插座、電控箱等電器設(shè)備的布線和安裝。裝配式潔凈室吊頂多為隱蔽的技術(shù)夾層.安裝方式有兩種即明裝(梁)和暗裝(梁)明裝(梁)頂板的支撐吊梁為專門設(shè)計(jì)的鋁型材“T”字梁，外躇部分光澤美觀，具有一定的觀賞性鋁型材“T”字梁內(nèi)嵌埋L型鋼制加強(qiáng)板。具有足夠的支撐強(qiáng)度，暗裝(梁)式采用的吊頂璧板為四周邊均是凹槽的“四準(zhǔn)板”支撐吊梁，埋嵌于板四周的凹槽內(nèi)，整個(gè)頂棚的室內(nèi)一側(cè)見不到任何承載體的痕跡，具有簡潔明快的視覺效果。特點(diǎn)：(1)明裝(梁)和暗裝(梁)均適用于房寬B≥2000mm的房間，房寬的房間，頂板的支撐承重為兩側(cè)壁板。(2)明裝(梁)式適用于維修及工藝人員對(duì)頂棚登踏較多的情況，而暗裝(梁)適用于吊頂施工到位后，只有正常維修人員對(duì)頂棚登踏的情況，否則容易造成荷載不均，導(dǎo)致頂棚室內(nèi)一側(cè)工藝拼縫處出現(xiàn)不平整裂縫或“張嘴現(xiàn)象”若出現(xiàn)這種現(xiàn)象再重新調(diào)整復(fù)位難度較大。(3)暗裝(梁)式...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
19
瀏覽次數(shù)：7
半導(dǎo)體生產(chǎn)制程包含精密的微機(jī)電和積體電路，對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境之潔凈度的要求特別嚴(yán)格，因此整個(gè)制造過程都在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，也就是一般熟悉的潔凈室。在潔凈室技術(shù)中，污染不僅包括嚴(yán)格意義上的灰塵的微粒，還包括任何有干擾作用的固體、液體、氣體、熱、電磁。所以需要小心控制污染控制的生產(chǎn)有關(guān)的環(huán)境，這可能會(huì)有負(fù)面影響的過程和產(chǎn)品的質(zhì)量。大多數(shù)潔凈室會(huì)避免的懸浮微粒污染，因?yàn)槲⒘榇箢w粒，通過HEPA/ULPA過濾器足以控制，但是懸浮分子污染，為小顆粒，傳統(tǒng)上，HEPA和ULPA是半導(dǎo)體工藝中賴以控制微粒污染的技術(shù)，但隨著尺寸由0.25μm快速演進(jìn)到0.13μm快甚至納米(μm)工藝時(shí)，越來越多的研究發(fā)現(xiàn)，潔凈室空氣中存在的懸浮分子污染物(AMC)，將會(huì)對(duì)不同用以產(chǎn)生不良的影響，嚴(yán)重時(shí)可能對(duì)產(chǎn)品造成致命的缺陷而影響良率。一、AMC定義和分類AMC是Airborne Molecular Contamination的縮寫，定義為懸浮分子污染物(不是懸浮微粒)，出現(xiàn)在潔凈室和受控制環(huán)境的大氣中。懸浮微粒以microns微米來定義(縮寫μm)，μm是過濾行業(yè)中描述粉塵粒度和纖維直徑時(shí)最常用的尺寸單位。1μm=10-6m懸浮分子是光波長度和分子直徑的常用計(jì)量單位。氣態(tài)分子級(jí)污染物(AMC)是危害生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)，AMC會(huì)在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光...
發(fā)布時(shí)間:
2024
-
01
-
18
瀏覽次數(shù)：17